盛上海8月7日晚间公告，公司拟投资发展高端半导体设备该项目计划总投资约7.48亿元，其中自有资金投资1685.91万元，其余7.31亿元拟由公司首次公开发行股票投资该项目将在上海张江购买和装修R&D办公楼，并购买相应的R&D设备本项目开发的产品，包括干法设备扩建和超临界CO2清洗干燥设备领域的产品，具有较高的标准，部分性能指标有望达到国际领先水平